恩迪数控的非标工程师团队，包含：机械设计、电气控制、软件编程、工艺制造、X射线等多领域知识人才的技术团队，可对客户的特殊需求，提供最优方案。

产品特点

高稳定性全闭式气浮结构；

天然大理石气浮导轨、刚度大、低摩擦；

直驱直线电机驱动；

龙门结构，天然大理石平台刚度大稳定性好；

定位精度±0.25μm，重复定位精度±0.2μm；

扫描应用及晶圆检测的高精度定位和完美选择；

采用标准化自主研发气浮模块，气浮刚度可达145N/μm；

可选雷尼绍/海德汉2μm栅距玻璃尺，线性膨胀系数可达到(0±0.1)*10–6K–1，使用的绝对式编码器细分误差可达到正负0.4nm，保证极高的重复精度；

使用ACS控制器和驱动模块相结合，可提供优异的伺服性能、先进控制算法，从而提高动态性能和误差补偿；

根据需求可定制。

定制化设计

各轴行程可定制。大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。 整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。

气浮平台特点

<<  以空气作为润滑介质，运动部件没有机械接触、无机械摩擦；

安装说明