
多个运动轴(X / Y / Z)
支撑结构和安装基准
传感器与反馈装置
驱动与控制系统
而在讨论系统精度时,很多人会自然地联想到另一个指标——重复定位精度。这两个概念看似接近,但关注点并不相同。
定位精度
重复定位精度
看的是“多次回到同一位置,偏差大不大”。
一个系统可能“每次都停在同一个地方”,但这个地方并不一定就是目标位置。因此,在高端设备的真实应用中,这两个指标往往需要结合来看。

当多个模组被集成到同一平台中时,系统中不可避免地会引入:
多轴装配带来的微小偏差
结构刚性不足引起的变形
多轴联动时的同步误差
高速运动产生的振动
温度变化带来的热膨胀
行程较长
运行速度较高
对同步性要求较高
这也是为什么在龙门和多轴平台中,系统刚性和多轴协同能力,往往比单轴精度本身更关键。

除了装配和结构因素,在精密定位系统中,还有一种容易被忽视的误差来源——阿贝误差。
距离越远,放大效应越明显
行程越长,影响越难忽略
也正因为如此,在高精度设备中,结构布局和测量方式的合理性,往往直接决定了系统最终能达到的精度水平。

从系统角度出发的结构设计
足够的整体刚性与稳定性
多轴之间良好的同步与协同
对潜在误差的提前预判和控制
在实际项目中,越来越多应用开始关注:整个平台在真实工况下,是否具备稳定、可复制的系统精度能力。这也是系统级 XYZ 运动平台和龙门平台存在的意义。
1.XYZ AOI检测平台

一款高精度三轴高精密运动台,三轴叠层结构, 可用于激光加工、光学制造及检测、等要求高精度和高效率的工业项目中-
采用XYZ叠加结构,无铁芯直线电机直驱控制
无齿槽效应,低速下可平滑运行(速度波动小)
非接触式高精度光栅尺,运动平稳,受力稳定
优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度
Z轴直驱平升结构,移动负载升降,内置平衡气缸
2.XYR AOI检测平台

主要应用于汽车电子、显示检测(数码管、液晶屏、 LED显示屏)、医药、食品、精密零件加工、尺寸测量、产品定位等多种领域。 使产品运行到相应位置后,进行测量、计数、检测、智能判定的目的-
高精密、高稳定直驱结构设计
非接触式高精度光栅尺
XY采用高精密级直线导轨
DD端面跳动小于2um
组装后平台整体平面跳动小于10um
全行程重复性小于±1 um
定位精度小于±2um
3.IC载板LDI曝光气浮平台

主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD显示、线路板生产、PCB产品等要求高精度和高效率工业项目中-
多轴气浮平台,采用气浮XY叠加结构
XY采用全环绕式气浮导轨,稳定性好
无铁芯直线电机直驱控制,无齿槽效应
在低速下可平滑运行(速度波动小)
同时配备非接触式高精度光栅尺,高动态性能
多轴气浮平台选用高精度光栅位置反馈
全行程重复性小于0.5um, ·定位精度小于1um。